| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Código # | 512-350 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 355x126 mm |
| Viagem de trabalho | 200x100mm |
| Concentração | 90 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 511-330 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 258x308 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 148x206mm |
| Faixa de viagem de estágio | 150x100 mm |
| Dimensão do produto | 988x563x1157mm |
| Código # | 511-420 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 308x408 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 198x306mm |
| Faixa de viagem de estágio | 250 x 150 mm |
| Dimensão do produto | 1003x617x1309mm |
| Código # | 510-340 |
|---|---|
| Tamanho de painel LCD | 115 mm × 85 mm |
| Resolução da tela LCD | 640*480 |
| Linha central da exposição | 3 eixos (X,Y,Z/Q) |
| Resolução em escala linear | 0.1 um,0.2um,0.5mm, 1mm,2mm,5mm |
| Código # | 511-340 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 258x358 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 148x256mm |
| Faixa de viagem de estágio | 200x100mm |
| Dimensão do produto | 988x563x1157mm |
| Código # | 512-400 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 455x126 mm |
| Viagem de trabalho | 300x150 mm |
| Concentração | 120 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 512-350 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 355x126 mm |
| Viagem de trabalho | 200x100mm |
| Concentração | 90 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 542-310 |
|---|---|
| Viagem de trabalho | 355x125 mm |
| Curso de X/Y-Axis | 200x120 mm |
| Eixo Z | 110 mm |
| Precisão de medição | ≤3+L/200um |