| Código# | 512-400 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 455x126 mm |
| Viagem em estágio de trabalho | 300x150 mm |
| Foco | 120mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código# | 512-400 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 455x126 mm |
| Viagem em estágio de trabalho | 300x150 mm |
| Foco | 120mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código# | 542-310 |
|---|---|
| Viagem em estágio de trabalho | 355x125mm |
| Viagem x/y-eixo | 200x120mm |
| Z eixo | 110mm |
| Precisão de medição | ≤3+l/200um |
| Código# | 511-410 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 308x408 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 198x306mm |
| Faixa de viagem de estágio | 200x100mm |
| Dimensão do Produto | 1003x617x1309mm |
| Código# | 525-020P |
|---|---|
| Estágio de granito | (310*220) mm |
| Estágio de vidro | (179,5*129,5) mm |
| Viagem de X/Y eixo | (150*100) mm |
| Escalas lineares X/Y | Resolução: 0,5um |
| Código# | 511-330 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 258x308 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 148x206mm |
| Faixa de viagem de estágio | 150x100 mm |
| Dimensão do Produto | 988x563x1157mm |
| Código# | 510-340 |
|---|---|
| Tamanho de painel LCD | 115 mm × 85 mm |
| Resolução da tela LCD | 640*480 |
| Linha central da exposição | 3 eixos (X,Y,Z/Q) |
| Resolução de escala linear | 0.1 um,0.2um,0.5mm, 1mm,2mm,5mm |
| Código# | 525-020GP |
|---|---|
| Estágio de granito | (505*350) mm |
| Estágio de vidro | (356*248) mm |
| Viagem de X/Y eixo | (300*200) mm |
| Escalas lineares | Resolução: 0,5um |
| Código# | 525-020EP |
|---|---|
| Estágio de granito | (390*220) mm |
| Estágio de vidro | (229,5*129,5) mm |
| Viagem de X/Y eixo | (200*100) mm |
| Escalas lineares | Resolução: 0,5um |
| Código# | 542-310 |
|---|---|
| Viagem em estágio de trabalho | 355x125mm |
| Viagem x/y-eixo | 200x120mm |
| Z eixo | 110mm |
| Precisão de medição | ≤3+l/200um |