| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Código # | 502-120G |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (300*200) mm |
| Dimensão (WxDxH) | (1237*740*1664) mm |
| Peso | 380 kg |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Código # | 529-120G |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (300*200) mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| X/Y/Z Escala linear de 3 eixos ((mm) | Resolução: 0,5 um |
| Precisão do eixo XY | ≤2,5+L/200 ((um) |