| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Código # | 512-400 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 455x126 mm |
| Viagem de trabalho | 300x150 mm |
| Concentração | 120 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 512-400 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 455x126 mm |
| Viagem de trabalho | 300x150 mm |
| Concentração | 120 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 512-400 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 455x126 mm |
| Viagem de trabalho | 300x150 mm |
| Concentração | 120 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 512-350 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 355x126 mm |
| Viagem de trabalho | 200x100mm |
| Concentração | 90 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código # | 512-350 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 355x126 mm |
| Viagem de trabalho | 200x100mm |
| Concentração | 90 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |