| Código # | 511-420 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 308x408 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 198x306mm |
| Faixa de viagem de estágio | 250 x 150 mm |
| Dimensão do produto | 1003x617x1309mm |
| Código # | 511-410 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 308x408 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 198x306mm |
| Faixa de viagem de estágio | 200x100mm |
| Dimensão do produto | 1003x617x1309mm |
| Código # | 511-420 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 308x408 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 198x306mm |
| Faixa de viagem de estágio | 250 x 150 mm |
| Dimensão do produto | 1003x617x1309mm |
| Código # | 522-120G |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (300*200) mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | 0.5um |
| Precisão do eixo XY | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Código # | 522-120H |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (400*300)mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | 0.5um |
| Precisão do eixo XY | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Código # | 522-180H |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (400*300)mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | 0.1um |
| Precisão do eixo XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Código # | 522-180J |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (500*400) mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | 0.1um |
| Precisão do eixo XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Código # | 522-280G |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (300*200) mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | 0.1um |
| Precisão do eixo XY | ≤1,8+L/200 ((um) |
| Código # | 522-420G |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (300*200) mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | 0.5um |
| Precisão do eixo XY | ≤ 2,0+L/200 ((um) |
| Código # | 524-220H |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (400*300)mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| X/Y/Z Escala linear de 3 eixos ((mm) | Resolução: 0,5 um |
| Repetitividade | 2um |