| Código # | 525-380K |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (500*500) mm |
| Viagem no eixo Z | 300 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | Resolução: 0,1 um |
| Modo de orientação | Ferrovia de guia linear de precisão |
| Código # | 523-280N |
|---|---|
| Viagem no eixo X/Y | (1200*1000) mm |
| Viagem no eixo Z | 200 mm |
| Escala linear do eixo X/Y/Z | Resolução: 0,1 um |
| Precisão do eixo XY | ≤2,5+L/200 ((um) |
