| Código # | 525-020P |
|---|---|
| Estágio de granito | (310*220) mm |
| Fase de vidro | (179,5*129,5) mm |
| Curso do eixo X/Y | (150*100) mm |
| Escalas lineares X/Y | Resolução: 0,5 um |
| Código # | 511-330 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 258x308 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 148x206mm |
| Faixa de viagem de estágio | 150x100 mm |
| Dimensão do produto | 988x563x1157mm |
| Código # | 511-330 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 258x308 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 148x206mm |
| Faixa de viagem de estágio | 150x100 mm |
| Dimensão do produto | 988x563x1157mm |
| Código # | 511-340 |
|---|---|
| Tamanho do palco metálico | 258x358 mm |
| Tamanho do palco de vidro | 148x256mm |
| Faixa de viagem de estágio | 200x100mm |
| Dimensão do produto | 988x563x1157mm |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |