| Código # | 525-020P |
|---|---|
| Estágio de granito | (310*220) mm |
| Fase de vidro | (179,5*129,5) mm |
| Curso do eixo X/Y | (150*100) mm |
| Escalas lineares X/Y | Resolução: 0,5 um |
| Código # | 525-020P |
|---|---|
| Estágio de granito | (310*220) mm |
| Fase de vidro | (179,5*129,5) mm |
| Curso do eixo X/Y | (150*100) mm |
| Escalas lineares X/Y | Resolução: 0,5 um |
| Código # | 512-350 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 355x126 mm |
| Viagem de trabalho | 200x100mm |
| Concentração | 90 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
