| Código# | 525-020DP |
|---|---|
| Estágio de granito | (310*220) mm |
| Estágio de vidro | (179,5*129,5) mm |
| Viagem de X/Y eixo | (150*100) mm |
| Escalas lineares | Resolução: 0,5um |
| Código# | 525-020P |
|---|---|
| Estágio de granito | (310*220) mm |
| Estágio de vidro | (179,5*129,5) mm |
| Viagem de X/Y eixo | (150*100) mm |
| Escalas lineares X/Y | Resolução: 0,5um |
| Código# | 512-350 |
|---|---|
| Tamanho do estágio de trabalho | 355x126 mm |
| Viagem em estágio de trabalho | 200x100mm |
| Foco | 90 mm |
| Precisão | ≤3+L/200 (um) |
| Código# | 542-310 |
|---|---|
| Viagem em estágio de trabalho | 355x125mm |
| Viagem x/y-eixo | 200x120mm |
| Z eixo | 110mm |
| Precisão de medição | ≤3+l/200um |
| Código# | 542-310 |
|---|---|
| Viagem em estágio de trabalho | 355x125mm |
| Viagem x/y-eixo | 200x120mm |
| Z eixo | 110mm |
| Precisão de medição | ≤3+l/200um |